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碳化硅載盤
西安中威(ZHWE)生產
Φ380mm--Φ600mm半導體蝕刻盤,晶片承載盤,
碳化硅載盤,SIC載盤,碳化硅拖盤、ICP刻蝕盤,刻蝕托盤,碳化硅純度>99.9%,SIC托盤使用壽命是石墨基CVD載盤四倍,長期使用不變形,耐FH酸、濃H2SO4腐蝕,大幅節省碳化硅基CVD載盤使用成本50%,歡迎來電咨詢
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