碳化硅爐管,擴(kuò)散爐爐管,高純碳化硅爐管SIC含量>99.96%,純度高,無金屬形態(tài)雜質(zhì),不污染晶圓,適用于半導(dǎo)體集成電路FAB廠商擴(kuò)散退火氧化工藝...